潔凈棚級(jí)別和級(jí)別-潔凈棚及相關(guān)受控自然環(huán)境 第1一部分：空氣潔凈度等級(jí)

引   言
潔凈棚及相關(guān)受控自然環(huán)境將空氣飄浮顆粒操縱在恰當(dāng)?shù)乃疁?zhǔn) ，便于進(jìn)行對(duì)環(huán)境污染比較敏感的主題活動(dòng) 。航空公司航 天 、微電子技術(shù) 、制藥業(yè) 、醫(yī)療設(shè)備、食品類 、醫(yī)療服務(wù)等領(lǐng)域的設(shè)備和加工工藝獲益于對(duì)飄浮污染物質(zhì)的操縱 。
GB/T 25915 的本一部分要求的 ISO 級(jí)別 ，可做為潔凈棚及相關(guān)受控自然環(huán)境內(nèi)空氣潔凈度等級(jí)的工藝標(biāo)準(zhǔn) 。 這兒不但要求了測量空氣飄浮顆粒濃度值的技術(shù)規(guī)范 ，也規(guī)范了標(biāo)準(zhǔn)的檢驗(yàn)方式 。
本一部分為顆粒濃度值限制值限制了粒度范疇 ?？砂幢疽徊糠纸o予的規(guī)范程序 ，依據(jù)低于或超過級(jí)別關(guān)心 粒度的空氣飄浮顆粒濃度值，明確潔凈度等級(jí)的水準(zhǔn) 。
本一部分是潔凈棚和環(huán)境污染操縱系列產(chǎn)品標(biāo)淮中的一個(gè) 。除空氣飄浮顆粒濃度值外 ，在潔凈棚和別的受控環(huán) 境的設(shè)計(jì)方案 、技術(shù)性標(biāo)準(zhǔn) 、運(yùn)作及管理方法中也有很多原因需要考慮到 。在本規(guī)范的其余一部分中 ，有這方面的詳盡 內(nèi)嚇
有一些場所，相關(guān)監(jiān)督機(jī)構(gòu)很有可能會(huì)要求補(bǔ)充性的制度或限定 。碰到這樣的事情 ，很有可能必須對(duì)規(guī)范檢驗(yàn)方 法開展適度調(diào)節(jié) 。

潔凈棚及相關(guān)受控自然環(huán)境第 1 一部分 ：空氣潔凈度等級(jí)
1范疇
 GB/T25915 的本一部分區(qū)劃潔凈棚及相關(guān)受控自然環(huán)境的空氣潔凈度等級(jí)僅根據(jù)其中的空氣飄浮顆粒濃度值，，，
該濃度通常是指粒度大于或等于閥值（下限）粒度的顆粒數(shù)量，要求的闊值（下限）粒度為 0. 1 μm-5 μm?？偛课撮_設(shè) 0. 1μm-5 μm 要求粒度之外顆粒數(shù)量的潔凈度等級(jí) 。但可以用 U 描述符和 M 描述符，各自描述超微主板顆粒 （5 μm）的數(shù)量。本一部分不可以用以敘述空氣飄浮顆粒的物理學(xué)、有機(jī)化學(xué)、放射性物質(zhì)或生存特點(diǎn)。
注 ：大于或等于某粒度的微粒濃度值具體遍布一般難以預(yù)料，且通常是隨時(shí)長變動(dòng)的。

2專業(yè)術(shù)語和界定

以下專業(yè)術(shù)語和界定適用本文檔 。
2. 1一般
 2. 1.1
潔凈棚cleanroom
空氣飄浮顆粒濃度值受控的棚間 ，其修建和應(yīng)用方法使棚間內(nèi)進(jìn)到的 、造成的 、停留的顆粒至少，棚間 內(nèi)溫度、環(huán)境濕度、工作壓力等別的相關(guān)主要參數(shù)按要求受控 。
2. 1. 2
潔凈棚clean zone
空氣飄浮顆粒濃度值受控的專用型室內(nèi)空間，其修建和應(yīng)用方法使棚里進(jìn)到的 、造成的 、停留的顆粒至少 ，棚 內(nèi)溫度、環(huán)境濕度 、工作壓力等別的相關(guān)主要參數(shù)按要求受控 。
注 ：潔凈棚可以是開放的或封閉式的，可在也并不在潔凈棚內(nèi) 。
2. 1. 3
設(shè)備installation
全部相關(guān)建筑物 、空氣解決系統(tǒng)軟件及其服務(wù)項(xiàng)目 、公共系統(tǒng)的潔凈棚，或一個(gè)或多個(gè)那樣的潔凈棚 。
2. 1. 4
潔凈度等級(jí)classification
潔凈度等級(jí)分類classification
以 ISO N 級(jí)表明的 、潔凈棚或潔凈棚內(nèi)按空氣飄浮顆粒濃度值區(qū)劃的潔凈度等級(jí)水準(zhǔn)（或要求 、明確該水 平的全過程） 。潔凈度等級(jí)意味著關(guān)心粒度顆粒的較大允許濃度（表明為每立方空氣中的顆粒數(shù)量） 。
注 1 ：濃度計(jì)算見 3. 2 的式(1） 。
注 2 ：本一部分級(jí)別的范疇僅限于 ISO 1 級(jí)-ISO 9 級(jí)。
注 3 ：本部位的級(jí)別關(guān)心粒度僅限于 0.1 μm   5 μm 范疇（較低閥值） 。特定閥值粒度超過此范疇的空氣潔凈度等級(jí) ，可以用 U 描述符和 M 描述符（見 2. 3. 1 和 2. 3. 2 ）敘述和表明（但不等級(jí)分類） 。
注 4 : ISO 級(jí)別可帶小數(shù)，最少增加量為 0.1，ISO 1. 1 級(jí)-ISO 8. 9 級(jí)。
注 5 ：潔凈度等級(jí)可適用全部 3 種占有情況

2. 2空氣飄浮顆粒
2. 2. 1
粒子particle
其粒度閥值（最低值）在 0. 1 μm5 μm 范疇的 、總計(jì)的固態(tài)或液態(tài)化學(xué)物質(zhì) 。

2. 2. 2
粒度particle size
給出粒度檢測儀器得出的 、與被測顆粒的回應(yīng)量非常的球型體直徑 。
注 2 離散變量粒子計(jì)數(shù)器得出的是劑量電子光學(xué)直徑 。

2. 2. 3
顆粒濃度值particle concentration
企業(yè)容積空氣中顆粒的數(shù)量 。

2. 2. 4
粒度遍布particle size distribution
顆粒按粒度尺寸總計(jì)得到的微粒濃度值 。

2. 2. 5
超微主板顆粒ultrafine particle
當(dāng)量直徑低于 0. 1 μm 的顆粒。

2. 2. 6
大粒子macroparticle
當(dāng)量直徑超過 5 μm 的顆粒。

2. 2. 7
化學(xué)纖維fiber
（寬度〉 比不小于 10 的顆粒。

2. 3描述符
2. 3. 1
U 描述符U descriptor
包含超微主板顆粒以內(nèi)的 、每立方空氣顆粒的評(píng)測或要求濃度值 。
注 ：U描述符可以做為取樣點(diǎn)均值濃度值的限制（或相信限制 ，該相信限制依潔凈棚或潔凈棚特性鑒定取樣點(diǎn)總數(shù)而 定） 。不能用 U描述符明確空氣潔凈度等級(jí) ，但可以將其獨(dú)立或隨潔凈度等級(jí)引述 。
2. 3. 2
M 描述符M descriptor
每立方空氣中大顆粒的評(píng)測或要求濃度值 。M 描述符中的劑量粒度與測量法相關(guān) 。
注 ：M 描述符可以做為取樣點(diǎn)均值濃度值限制（或相信限制 ，該值依潔凈棚或潔凈棚特性鑒定取樣點(diǎn)總數(shù)而定） 。不 能用U描述符明確空氣潔凈度等級(jí) ，但可以將其獨(dú)立或隨潔凈度等級(jí)引述 。

2. 4占有情況
2. 4. 1
空態(tài)as-built
設(shè)備已完工并運(yùn)作，但沒有生產(chǎn)設(shè)備 、原材料和工作人員的情況。

2. 4. 2
靜態(tài)數(shù)據(jù)at-rest
設(shè)備已完工 ，生產(chǎn)設(shè)備已安裝好并按買方與供貨方商議的標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)作 ，但沒有工作人員的情況 。 
2. 4. 3
動(dòng)態(tài)性operational
設(shè)備按照規(guī)定方法運(yùn)作 ，其中要求數(shù)目的工作人員按商議方法工作中的情況 。
2.5相關(guān)多方
2. 5. 1
買方customer
要求潔凈棚或潔凈棚實(shí)際規(guī)定的組織或其代理商 。
2. 5. 2
供貨方supplier
使?jié)崈襞锘驖崈襞镒龅揭?guī)范標(biāo)準(zhǔn)的組織 。

3級(jí)別
3. 1占有情況
潔凈棚或潔凈棚的潔凈度等級(jí) ，應(yīng)按一種或幾類占有情況明確 ，即：“空態(tài)”、“靜態(tài)數(shù)據(jù)” 、“動(dòng)態(tài)性”（見 2. 的。
注 ：“空態(tài)”檢驗(yàn)適用新完工或新更新改造的潔凈棚或潔凈棚 。完成了“空態(tài)”檢驗(yàn)后，應(yīng)開展“靜態(tài)數(shù)據(jù)”或“動(dòng)態(tài)性”或這二者的達(dá)級(jí)檢驗(yàn) 。
3. 2級(jí)別序號(hào)
空氣潔凈度等級(jí)以級(jí)別序號(hào) N 表明 。每一種關(guān)心粒度 D 的最高容許顆粒濃度值 c. 由式(1） 明確 ：
式中
Cn 一一大于或等于關(guān)心粒度的顆粒較大允許濃度（以每立方空氣中顆粒的數(shù)量表明），  將Cn 修 約為不超過 3 位有效數(shù)字的整數(shù)金額 ；
N   一ISO 級(jí)別的數(shù)字編號(hào) ，較大不超過 9 。N 的各整數(shù)金額級(jí)別中間可以設(shè)置最少增加量為 0. 1 的中 間級(jí)別；
D一一關(guān)心粒度，企業(yè)為μm（ μm) ;
0. 1 一一參量，企業(yè)為μm（ μm） 。
表 1 得出了空氣潔凈度等級(jí)的整數(shù)金額級(jí)別以及相對(duì)應(yīng)的關(guān)心粒度及以上的顆粒允許濃度 。圖 A. 1（ 見
附則 A）以詳解表明整數(shù)金額級(jí)別 。發(fā)生異議時(shí)，要以式 (1）測算出的濃度值 Cn 為標(biāo)準(zhǔn)。
潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)表

3. 3級(jí)別的表述
描述潔凈棚及潔凈棚空氣的潔凈度等級(jí) ，應(yīng)包括以下幾點(diǎn) ：
a)以 ISO N級(jí)表明的級(jí)別 ；
b)等級(jí)對(duì)應(yīng)的占有情況 ；
c)級(jí)別的關(guān)心粒度及其由式 (1） 明確的相對(duì)應(yīng)濃度值 ，且每一個(gè)關(guān)心粒度閥值均在 0. 1 μm-5μm 范 圍內(nèi)。
實(shí)例:
ISO 4 級(jí)；動(dòng)態(tài)性 關(guān)心粒度O. 2 μm(2 370 個(gè)/m3）；1 μm(83 各個(gè)/m3)。
買方與供貨方彼此應(yīng)商談濃度值精確測量中所使用的一個(gè)或好幾個(gè)關(guān)心粒度 。
假如精確測量的關(guān)心粒度不只一個(gè)，則鄰近兩粒度中的大者〈如 D，） 與小點(diǎn)的叫日 D，）之比不可低于 1. 5 倍，即：


4級(jí)別的確認(rèn)
4. 1基本原理
依據(jù)買方與供貨方的協(xié)議書 ，執(zhí)行要求的檢驗(yàn) ，并給予要求的檢驗(yàn)結(jié)果和檢驗(yàn)情況的文檔 ，來認(rèn)證設(shè)備 合乎買方要求的空氣潔凈度等級(jí) (ISO 級(jí)別）規(guī)定 。
4. 2檢驗(yàn)
附則 B 得出了達(dá)級(jí)認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)檢驗(yàn)方式 。還可以應(yīng)用別的精確度相比的方式 。如未找到或商議 別的檢驗(yàn)方式，則應(yīng)應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)檢驗(yàn)方式 。
達(dá)級(jí)檢測中應(yīng)應(yīng)用經(jīng)校正的儀器設(shè)備 。
4. 3空氣飄浮顆粒濃度值限制值
按 4. 2 進(jìn)行檢驗(yàn)后，按附則 C 中的計(jì)算公式顆粒均值濃度值和 95 % 相信限制（適用時(shí)） 。
按式（C. 1）測算出的關(guān)心粒度［見 3. 3c）］的顆粒均值濃度值 ，不能超過按 3. 2 新中式(1） 測算出的濃度 限值。
除此之外 ，若采樣點(diǎn)的總數(shù)不少于 2 且不超過 9，則按 c. 3 要求測算出的 95 % 相信限制，不能超過上邊
測算的濃度限值 。
注 ：附則 D提供了級(jí)別測算案例 。
粒子濃度用以判斷與等級(jí)分類限值的一致性時(shí) ，對(duì)全部關(guān)心粒度的濃度精確測量都應(yīng)選用 同一種方式。
4. 4檢測匯報(bào)
以綜合性匯報(bào)的方式紀(jì)錄并遞交各潔凈棚和潔凈棚的檢測結(jié)果 ，匯報(bào)中應(yīng)申明檢測結(jié)果是不是超過規(guī) 定的氣體潔凈室等級(jí) 。
檢測匯報(bào)應(yīng)包含以下內(nèi)容 ：
的檢測組織的名字 、詳細(xì)地址 、檢測日期 ；
b)本部位的國家行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)序號(hào) ，即 GB/T 25915. 1 - 2010 。
c)清晰標(biāo)出測定潔凈棚或潔凈棚的具體地址（必需時(shí)以相鄰棚域作參考），并標(biāo)明全部采樣點(diǎn)的 實(shí)際座標(biāo) ；
d)為潔凈棚或潔凈棚所明文規(guī)定的規(guī)范 ，包含 ISO 級(jí)別 ，相對(duì)應(yīng)的占有情況，關(guān)心粒度 ；
e)常用檢測方式的詳細(xì)描述，包含獨(dú)特的檢測標(biāo)準(zhǔn)及其與要求檢測方式的偏移之處；檢測儀器設(shè)備的型號(hào)規(guī)格，儀器設(shè)備全新的校準(zhǔn)證書 ；
f)檢測結(jié)果，包含每一個(gè)采樣點(diǎn)的坐標(biāo)系和粒子濃度數(shù)據(jù)信息 。
注 2   若按附則 E 的表明描述了超微主板位置或大粒子的濃度量，則檢測匯報(bào)中就應(yīng)包括相對(duì)應(yīng)信息內(nèi)容 。

附則A
（資料性附錄）
潔凈室等級(jí)表 1 的圈示
圖 A. l 是表 1氣體潔凈室等級(jí)的圖例 ，僅起表明功效 。表 1的 ISO 級(jí)別在圖上以平行線表明 ，平行線意味著關(guān)心粒度閥值所相應(yīng)的級(jí)別濃度限值 。這種限值是依據(jù) 3. 2 中的式(1） 測算獲得 。而圖上的平行線 僅僅級(jí)別限值的一種類似表明 ，不可以為此明確限值，確定限值仍應(yīng)用式 ） 。
圖上的實(shí)心點(diǎn)相匹配的是每一個(gè) ISO 級(jí)別粒度閥值的最高和極小值 ，因而，級(jí)別線不可以拓寬至實(shí)心點(diǎn) 以外 。
級(jí)別線不意味著潔凈棚和潔凈棚內(nèi)粒度的具體遍布 。


附則B
（規(guī)范化附則） 選用光透射離散變量粒子計(jì)數(shù)
測量粒子潔凈室等級(jí)
B. 1基本原理
應(yīng)用光透射離散變量粒子計(jì)數(shù) ，在規(guī)定的采樣點(diǎn)，測量大于或等于關(guān)心粒度的氣體飄浮粒子濃度 。
B. 2儀器設(shè)備規(guī)定
B. 2. 1粒子計(jì)數(shù)
離散變量粒子計(jì)數(shù) CDPC） 是一種光透射精確測量設(shè)備 ，可以表明或紀(jì)錄空氣中離散變量粒子的總量和粒度 ：具 有粒徑鑒別力 ，可在有關(guān)潔凈室等級(jí)所涉及到的粒度范疇內(nèi)測量粒子總濃度 ；并含有一套適合的采樣 系統(tǒng)軟件。
B. 2. 2儀器校正
儀器設(shè)備應(yīng)具備合理的校準(zhǔn)證書 ；校正頻率和校正方式應(yīng)滿足現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)可的規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn) 。
B 3   預(yù)檢測條件
B. 3. 1檢測提前準(zhǔn)備
檢測前 ，先認(rèn)證潔凈棚或潔凈棚總體運(yùn)作的各個(gè)領(lǐng)域均正常的元誤   ，合乎特性規(guī)定 。 預(yù)檢測工作中可包含如 z
a)排風(fēng)量或風(fēng)力檢測 ；
b)氣體壓力差檢測 ；
c)密封性檢測 ；
d)已裝過濾裝置的測漏。
B. 3. 2預(yù)檢測常用儀器設(shè)備的設(shè)定 依照廠家的表明設(shè)定并調(diào)準(zhǔn)儀器設(shè)備 。
B. 4采樣
B. 4. 1明確采樣點(diǎn)部位
B. 4. 1. 1按式CB. 1） 求出至少采樣點(diǎn)總數(shù) ：


B. 4. 1. 2

保證采樣點(diǎn)在全部潔凈棚或潔凈棚內(nèi)聯(lián)合分布 ，并坐落于工作臺(tái)面相對(duì)高度 。 若買方要求了 額外的采樣點(diǎn)，解決新增加采樣點(diǎn)的數(shù)量和部位作出要求 。 注 ：額外采樣點(diǎn)可坐落于按風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估得到的重要部位 。

B. 4. 2明確各采樣點(diǎn)的一次采樣量 
B. 4. 2. 1

若關(guān)心粒度的較大粒子濃度處在特定 ISO 級(jí)別的濃度限制 ，則在每一個(gè)采樣點(diǎn)要收集足夠檢測出不 低于 20 顆粒子的氣量。
由式




B. 4. 2. 2
每一個(gè)采樣點(diǎn)的采樣量不可低于 2 L，采樣時(shí)間不能低于 1 min 。
B. 4. 3采樣技術(shù)規(guī)范
B. 4. 3. 1
按生產(chǎn)商的詳細(xì)說明和儀器校正資格證書設(shè)定粒子計(jì)數(shù) CB. 2. 1) 。
B. 4. 3. 2
采樣攝像頭應(yīng)偏向氣旋 。若采樣點(diǎn)處氣旋方位未可控或不能預(yù)測分析（ 例如非單方面流） ，則采樣攝像頭的進(jìn) 出氣口應(yīng)豎直往上 。
B. 4. 3. 3
在每一個(gè)采樣點(diǎn)按 B. 4. 2 明確的最少采樣量采樣 。
B. 4. 3. 4
當(dāng)僅必須一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí) CB. 4. D ，則在該點(diǎn)至少開展三次采樣 。
B. 5紀(jì)錄結(jié)果
B. 5. 1各采樣點(diǎn)的均值粒子濃度
B. 5. 1. 1
紀(jì)錄下有關(guān)氣體潔凈室等級(jí)的每一個(gè)關(guān)心粒度（ 3. 3）粒子的一次采樣濃度 。
注 ：在預(yù)估95% 相信限制以前，應(yīng)先考慮到 B. 6. 1 的規(guī)定。
B. 5. 1. 2
當(dāng)只有一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí) ，測算每一個(gè)關(guān)心粒度采樣數(shù)據(jù)信息 
B. 5. 1. 3
當(dāng)在一個(gè)采樣點(diǎn)上開展 2 次或 2 次以上的采樣時(shí)，依照 c. 2 中給定的技術(shù)規(guī)范 ，從各次采樣 CB. 5. 1. 1)
測算出每一個(gè)關(guān)心粒度的粒子均值濃度 ，并紀(jì)錄結(jié)果 。
B. 5. 295% 相信限制（ UCL） 的估算規(guī)定
B. 5. 2. 1
當(dāng)采樣點(diǎn)總數(shù)不只 1 個(gè)且不上 10 個(gè)時(shí) ，依照 c. 3 中給定的技術(shù)規(guī)范 ，以全部各點(diǎn)的均值粒子濃 度
CB. 5. 1)測算總均值 、標(biāo)準(zhǔn)偏差和 95 % 相信限制 。
B. 5. 2. 2
當(dāng)采樣點(diǎn)僅有 1個(gè)或超過9 個(gè)時(shí) ，不用測算 95 % 相信限制 。
B. 6數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析
B. 6. 1等級(jí)分類規(guī)定
若每一個(gè)采樣點(diǎn)測出的粒子濃度均值 ，及其適用時(shí)按 B. 5. 2 測算的 95 % 相信限制，均未超出按 3. 2
新中式(1） 明確的濃度限值 ，則覺得該潔凈棚或潔凈棚做到要求的氣體潔凈室等級(jí) 。 若檢測結(jié)果無法達(dá)到要求的氣體潔凈室等級(jí) ，可新增加聯(lián)合分布的采樣點(diǎn)開展檢測 。再次數(shù)值
時(shí)，除開包括新采樣點(diǎn)的數(shù)據(jù)信息外 ，還應(yīng)包含原來采樣點(diǎn)的全部數(shù)據(jù)信息 。（www.luxurylinelimo.com）對(duì)包含新采樣點(diǎn)以內(nèi)的信息開展的 再次測算，其效果是無法改變的 。
B. 6. 2出現(xiàn)異常值的解決
95 % 相信限制（ UCL) 的數(shù)值，很有可能未超過要求的 ISO 級(jí)別 。假如未達(dá)級(jí)是精確測量錯(cuò)漏（因?yàn)椴?作錯(cuò)漏或機(jī)器設(shè)備異常〉而致或者粒子濃度出現(xiàn)異常低（因?yàn)槟承y量點(diǎn)氣體出現(xiàn)異常清潔） 而造成的單獨(dú)非任意異 常值而致，則該值可以不計(jì)入 ，標(biāo)準(zhǔn)是z
a)再次測算時(shí)包含全部剩下采樣點(diǎn)的數(shù)據(jù)信息   z
b)測算中起碼也有 3 個(gè)精確測量值 ；
c)測算中不計(jì)入的精確測量值不能超過 1個(gè) ；
d)紀(jì)錄導(dǎo)致精確測量錯(cuò)漏或低粒子濃度的異常緣故 ，并獲得甲乙雙方的認(rèn)同 。
注 ：依所測清潔設(shè)備的運(yùn)用特性，各采樣點(diǎn)粒子濃度非常大的不同可能是有效的 ，乃至是有心而為 。
附則C
（規(guī)范化附則）
粒子濃度數(shù)據(jù)信息的統(tǒng)計(jì)分析解決
c. 1細(xì)則
數(shù)據(jù)分析中只考慮到隨機(jī)偏差（精密度不夠） ，不考慮到非隨機(jī)偏差（如，校正偏差導(dǎo)致的誤差） 。

附則E
（資料性附錄） 超過分類粒度閥值范疇的粒子計(jì)徑和記數(shù)
E. 1基本原理
在一些涉及到特殊加工工藝規(guī)定的情形下，可按等級(jí)分類粒度闊值范疇以外的粒子濃度此外要求氣體潔凈度等級(jí) 的水準(zhǔn)。這類粒子的最高容許濃度和相對(duì)應(yīng)的檢測方式由買方與供貨方商議 。E. 2 （針對(duì) U 描述符） 和 E. 3
（對(duì)于 M描述符）中表明了有關(guān)檢測方式和要求關(guān)系式 。 
E. 2低于 0. 1 μm 的粒子（超微主板粒子）一u 描述符
E. 2. 1運(yùn)用
假如必須評(píng)定低于 0. 1 μm 的粒子導(dǎo)致嚴(yán)重污染的風(fēng)險(xiǎn)性 ，就需要選用合乎這類粒子實(shí)際特點(diǎn)的采樣設(shè)備 和測量法 。
應(yīng)依照 B. 4. 1 明確采樣點(diǎn)總數(shù) ，最少采樣量 只應(yīng)是 2 L(B. 4. 2. 2 ） 。
E. 2. 2U 描述符關(guān)系式
可以直接選用 U描述符表明超微主板粒子濃度 ，也可將它做為氣體潔凈室等級(jí)的補(bǔ)充說明 。
U描述符用“U ( x ; y ） ”表明，在其中 z
z 一超微主板粒子的最高容許濃度（以每立方氣體超微主板粒子數(shù)量表明） ；
y 一一 以μm計(jì)的粒徑 ，適合的離散變量粒子計(jì)數(shù)在該粒徑點(diǎn)的粒子記數(shù)高效率為 50 % 。
例：粒徑范疇二三 0. 01 μm 、較大容許超微主板粒子濃度 140 000 個(gè)/m3可表達(dá)為“U040 000;0. 01 μm）”。
注 1 : IEST G-CC1002得出了低于 0. 1 μm 的飄浮粒子濃度的檢驗(yàn)方式 。
注 2 ：假如用U 描述符做為氣體潔凈室等級(jí)的補(bǔ)充說明 ，則超微主板粒子的濃度（叫不可低于對(duì)應(yīng)當(dāng) ISO 級(jí)別粒徑
0. 1 μm 的粒子濃度限制值（每立方粒子數(shù)量） 。
E. 3超過 5 μm 的粒子（大粒子）一M 描述符
E. 3. 1運(yùn)用
假如必須評(píng)定超過 5 μm 的粒子導(dǎo)致嚴(yán)重污染的風(fēng)險(xiǎn)性 ，就需要用合乎這類粒子實(shí)際特性的取樣設(shè)備和測 量方式 。
氣體飄浮粒子中的大粒子 般是以加工工藝自然環(huán)境中釋放出來的 ，因而，應(yīng)按照實(shí)際應(yīng)用狀況來明確適用的采 樣設(shè)備和測量法 。必須考量的關(guān)鍵因素有 ：粒子的相對(duì)密度 、樣子 、容積 、流體力學(xué)特性這些 。除此之外 ，很有可能還 必須特別關(guān)心總飄浮粒子中的特殊成分 ，如化學(xué)纖維 。
E. 3. 2M 描述符關(guān)系式
M描述符可以獨(dú)立引述，也可將它做為氣體潔凈室等級(jí)的補(bǔ)充說明 。M 描述符用“ M ( a ; b)   ; c”表 示，在其中 ：
a 一一大粒子的最高容許濃度（以每立方空氣中的大粒子數(shù)量表明） ；
b 一一與要求的大粒子測量法相匹配的當(dāng)量直徑（或直徑） (μm) ;
c 一一要求的測量法 。
注 ：假如取樣的飄浮粒子中富含化學(xué)纖維，則可以在 M 描述符上添一個(gè)化學(xué)纖維標(biāo)識(shí)，表明為“M奸維 （a   ;b)   ;c”。
實(shí)例 1 :
若應(yīng)用大氣氣溶膠航行時(shí)間粒子計(jì)數(shù) ，測量的粒子流體力學(xué)直徑＞ S μm 的粒子濃度為 10 000 個(gè)/m3，，則用 M 敘述 符表明為：
“M（1000；>5 μm）；大氣氣溶膠航行時(shí)間粒子計(jì)數(shù)” 。
實(shí)例 2:
若應(yīng)用高倍顯微鏡對(duì)多級(jí)別碰撞采樣器收集的粒子開展粒徑測量和記數(shù) ，測得 10 μm   - 20   μm 粒徑范疇的飄浮粒子濃度為1000個(gè)/m3 ，則用 M 描述符表明為：
“M（1000;10 μm -20  μm）；多級(jí)別碰撞采樣器，以高倍顯微鏡測量粒徑并記數(shù)飛
注 2: IEST-G-CC1003］ 中提供了超過5 μm的飄浮粒子濃度的檢驗(yàn)方式 。
注 3 ：如應(yīng)用M 描述符做為氣體潔凈室等級(jí)的補(bǔ)充說明 ，則大粒子濃度 （a ） 不可超過相匹配于該 ISO   級(jí)別的粒徑 5   μm的粒子濃度限制值（每立方粒子數(shù)量） 。
附則F
（資料性附錄） 條件隨機(jī)場采樣法
F. 1
環(huán)境和標(biāo)準(zhǔn)
F. 1. 1環(huán)境
若取樣環(huán)境危害度顯著超過或顯著低于要求級(jí)別中關(guān)心粒徑的粒子濃度限制值 ，選用條件隨機(jī)場采樣法 通?？纱蠓档腿恿亢筒蓸訒r(shí)間 。即使?jié)舛荣N近要求限制值時(shí) ，條件隨機(jī)場采樣法仍可節(jié)約一些勞動(dòng)量 。 當(dāng)預(yù)估氣體潔凈度等級(jí)為 ISO 4 級(jí)或更清潔時(shí)，條件隨機(jī)場采樣法最好 。
注 2   相關(guān)條件隨機(jī)場采樣法的詳細(xì)信息見 IEST-G-CCl 004.
F. 1. 2限定
條件隨機(jī)場采樣法的首要受限標(biāo)準(zhǔn)是 ：
a)此方法僅適用在要求級(jí)別或濃度限制值處對(duì)關(guān)心粒徑的每一次取樣目 標(biāo)數(shù)量為 20 顆粒子 。
b)每一次樣版精確測量都需要佐以檢測和數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析 ，可由電子計(jì)算機(jī)全自動(dòng)進(jìn)行 。
c)因?yàn)闂l件隨機(jī)場采樣法減少了取樣量，測到的粒子濃度比不上基本采樣法精準(zhǔn)   。

• 

• 

對(duì)一個(gè)要求取樣點(diǎn)開展氣體取樣時(shí) ，已經(jīng)總計(jì)的粒子數(shù)量不斷地與參考限制值開展較為 。該參考限 值是己收集氣量與要求總產(chǎn)量比為的函數(shù)公式 。若已經(jīng)總計(jì)的記數(shù)低于已采氣量相匹配的參考值最低值 ，則 覺得取樣氣體符合要求的級(jí)別或濃度限制值 ，因此停止取樣 。
若已經(jīng)總計(jì)的記數(shù)超過已采氣量相匹配的參考值限制 ，則取樣氣體不符合要求的級(jí)別或濃度限制值 ， 因此停止取樣 。只需已經(jīng)總計(jì)的記數(shù)仍處于上最低值中間 ，取樣就不斷，一直總計(jì)到完全的樣版 。
圖 F. l 中的 C 是評(píng)測記數(shù) ，它與 E 相對(duì)性應(yīng) ；E 是預(yù)估記數(shù) ，即假設(shè)關(guān)心粒徑的粒子濃度處于要求限 值處 、以一個(gè)完全的一次氣體取樣時(shí)間內(nèi)可收集到 20 顆粒子的速度（取樣量對(duì)采樣時(shí)間） 取樣時(shí)，能采 到粒子的記數(shù) 。
表 F. l 是另一種等效電路方式 。如表所顯示，將評(píng)測記數(shù) C 發(fā)生的時(shí)間段與精確測量詳細(xì)單獨(dú)樣版并列的時(shí)間 開展較為 。若記數(shù)產(chǎn)生的時(shí)間先于表格中左欄的并列時(shí)間 ，則所采氣體不符合要求限制值 z若記數(shù)產(chǎn)生時(shí)間 晚于表格中右欄的并列時(shí)間 ，則所采氣體達(dá)到要求限制值 。粒子的產(chǎn)生的時(shí)間與表格中的限制時(shí)間較多 必須進(jìn) 行 21 次較為。
F. 3取樣技術(shù)規(guī)范
F. 3. 1   條件隨機(jī)場取樣的參考值
伴隨著數(shù)據(jù)采集的過程判斷結(jié)果的比較分析法有二種 。累進(jìn)稅數(shù)據(jù)信息電子計(jì)算機(jī)統(tǒng)計(jì)分析方法不錯(cuò) ，并介紹應(yīng)用 。
F. 3. 2取樣對(duì)比圖
圖 F. l 表明出按式（ F. l)和式（F. 2 ） 設(shè)置的邊境線 ，這兩根邊境線在 E= 20 處斷開 ，這里意味著收集 一個(gè)詳細(xì)樣版需要的時(shí)間 ，C= 20 即是較大達(dá)標(biāo)評(píng)測記數(shù) 。
該圖繪制了粒子濃度精準(zhǔn)處于要求級(jí)別水準(zhǔn)時(shí) ，觀察記數(shù)與預(yù)估記數(shù)的對(duì)應(yīng)關(guān)系 。預(yù)估記數(shù)的增 加隨著著時(shí)間的流逝，E=20 表明粒子濃度處于級(jí)別限制值時(shí)總計(jì)到一個(gè)詳細(xì)取樣量所需的時(shí)間 。
依照?qǐng)D F. l 開展條件隨機(jī)場取樣的技術(shù)規(guī)范如下所示 ：
伴隨著取樣的開展，紀(jì)錄下做為時(shí)間函數(shù)的粒子記數(shù) ，并將該計(jì)數(shù)與圖 F. 1 的左右邊框線開展較為 。 若評(píng)測總計(jì)計(jì)標(biāo)值超出了上邊框線 ，則停止該取樣點(diǎn)的采樣，說明氣體不符合要求的級(jí)別限制值 。若評(píng)測累 計(jì)計(jì)標(biāo)值小于下邊框線 ，則停止該取樣點(diǎn)的采樣 ，說明氣體符合要求的級(jí)別限制值 。若評(píng)測總計(jì)值處在上 、 下邊框線中間，則再次開展取樣 。
若到規(guī)范的取樣時(shí)間完畢時(shí) ，總記數(shù)未超出 20，未超過上邊框線，可判斷氣體做到級(jí)別 。
F. 3. 3取樣一覽表
表 F. 1 得出另一種等效電路的條件隨機(jī)場采樣法 ，在其中的信息也是按式 C F. l)和式 C F. 2 ） 推算出來的。表格中的 時(shí)間 t 取值為 1. 000 0，意味著收集一個(gè)詳細(xì)樣版的時(shí)間范圍 。其樣本數(shù)即空氣中關(guān)心粒徑的粒子恰好處在 其級(jí)別限制值劑量濃度時(shí) ，測到 20 個(gè)粒子的必不可少量。表格中列出各時(shí)間數(shù)值一個(gè)詳細(xì)樣版需要總總計(jì)時(shí)間 的各并列一部分 。
按表 F. 1開展條件隨機(jī)場取樣的方式 如下所示 ：
伴隨著取樣的開展 ，紀(jì)錄粒子記數(shù)及產(chǎn)生的時(shí)間 ，將每一次評(píng)測到記數(shù)的時(shí)間段與表格中所顯示的2個(gè)時(shí)間欄 開展較為 。若一個(gè)評(píng)測記數(shù)總計(jì)值產(chǎn)生的時(shí)間先于表格中左邊時(shí)間欄標(biāo)出的并列時(shí)間   ，則停止取樣，匯報(bào) 氣體未超過要求的級(jí)別；若一個(gè)評(píng)測記數(shù)的合計(jì)值產(chǎn)生的時(shí)間段晚于表格中右邊時(shí)間欄標(biāo)出的并列時(shí)間，則 停止取樣 ，匯報(bào)氣體做到要求的級(jí)別 。若評(píng)測記數(shù)總計(jì)不斷發(fā)生在2個(gè)時(shí)間欄所顯示時(shí)間之間 ，則再次 取樣；若持續(xù)實(shí)現(xiàn)的 21 次較為中元一記數(shù)早于左欄的并列時(shí)間 ，則這一詳細(xì)樣版說明氣體做到要求 級(jí)別。