OLED 元器件是在潔凈棚內(nèi)完成制造的，潔凈棚工程施工質(zhì)量優(yōu)劣，決策著生產(chǎn)流水線良品率的多少，從而危害生產(chǎn)成本。

我企業(yè)修建了一個OLED 試驗(yàn)線潔凈棚工程項目，文中將系統(tǒng)軟件簡介該潔凈棚工程項目管理的關(guān)鍵點(diǎn)。

1 項目概況

該新項目主棚生產(chǎn)制造棚域?yàn)殡p層混凝土結(jié)構(gòu)框架剪力墻及門式鋼架構(gòu)造，混泥土平屋面選用軟性高分子材料防水卷材平屋面, 鋼架結(jié)構(gòu)平屋面選用機(jī)械設(shè)備穩(wěn)定的防水卷材平屋面方法，一層層高4.8 m，二逐層高6.4 m，一層技術(shù)性下隔層與二層生產(chǎn)制造棚中間的混凝土樓板選用華夫板方法，運(yùn)用華夫板上的開孔達(dá)到雙層中間的送風(fēng)，華夫板上設(shè)定導(dǎo)電率架空地板，機(jī)器設(shè)備依據(jù)技術(shù)規(guī)定布局在架空地板或華夫板上。

2 設(shè)備合理布局

一層主要包含的作用棚間為技術(shù)性下隔層，送風(fēng)夾道，沿下隔層棚域四周布局有過廳、脫鞋棚、一更、化工品供貨、特氣供應(yīng)、廢水搜集、污水提高站、循環(huán)水系統(tǒng)站、純凈水打磨拋光間、真室內(nèi)空間、配電站、原材料存儲間、制成品儲存間等。

二層是大進(jìn)深的技術(shù)生產(chǎn)制造棚，布局生產(chǎn)設(shè)備。該層與技術(shù)性下隔層中間的構(gòu)造混凝土樓板是有一定開孔率的華夫板，華夫板上邊安裝空架防靜電地板，以達(dá)到送風(fēng)的規(guī)定；生產(chǎn)制造設(shè)備層的裝修吊頂安裝離心風(fēng)機(jī)過濾器模塊（FFU），以達(dá)到生產(chǎn)制造層凈化處理規(guī)定。

二層關(guān)鍵凈化處理棚包含的棚域有 PVD/CVD、光刻技術(shù)間、掩膜清理、引入間、RTA、ELA、CVD、基材清理間、小塊激光切割、蒸鍍、片區(qū)、UV 硬底化、基材激光切割間、探頭、列陣檢驗(yàn)間、緩沖間、有車庫、FMM庫、QA、送風(fēng)夾道等，關(guān)鍵凈化處理棚周邊的其他作用棚間包含有空調(diào)棚、電氣設(shè)備棚、配電設(shè)備棚、檢修間、材料庫等。在關(guān)鍵凈化處理生產(chǎn)制造棚的兩邊設(shè)計方案送風(fēng)、管路立井，產(chǎn)生凈化室內(nèi)空氣的循環(huán)系統(tǒng)控制回路。而且在工程建筑的兩側(cè)各設(shè)計方案好幾部室內(nèi)樓梯，產(chǎn)生各層對棚外的消防疏散安全通道為達(dá)到凈化處理生產(chǎn)制造的微振規(guī)定，二層的混凝土樓板――華夫板擬選用偏厚的破孔混凝土樓板構(gòu)造，華夫表面刷環(huán)氧樹脂膠建筑涂料，為達(dá)到生產(chǎn)工藝流程的靈便布局并提升凈化處理總面積的運(yùn)用高效率，生產(chǎn)制造工作人員經(jīng)主通道大廳進(jìn)到脫鞋棚，再進(jìn)到一次換衣，根據(jù)職工專用型室內(nèi)樓梯進(jìn)到二層二次換衣棚，再根據(jù)風(fēng)淋室棚進(jìn)到生產(chǎn)制造棚。

潔凈棚空調(diào)機(jī)組由 MAU（新風(fēng)系統(tǒng)解決系統(tǒng)軟件） FFU  干風(fēng)機(jī)盤管一同組成。生產(chǎn)制造棚裝修吊頂由風(fēng)機(jī)過濾單元（FFU）與合金裝修吊頂架構(gòu)構(gòu)成，F(xiàn)FU 視各生產(chǎn)制造機(jī)器設(shè)備必須之級別均布，普及率隨生產(chǎn)工藝流程要求而定。新風(fēng)系統(tǒng)由 MAU（新風(fēng)解決系統(tǒng)軟件）集中化運(yùn)輸后與棚里的循環(huán)系統(tǒng)風(fēng)混和，經(jīng)FFU 充壓、過慮后送進(jìn)生產(chǎn)制造棚。生產(chǎn)棚里機(jī)器設(shè)備、工作人員、照明燈具、排架結(jié)構(gòu)等冷負(fù)載均由干風(fēng)機(jī)盤管擔(dān)負(fù)。潔凈棚內(nèi)環(huán)境濕度及正壓力操縱由 MAU 承擔(dān)。MAU 供排風(fēng)量要求約 50000CMH×2 1 臺，潔凈棚循環(huán)系統(tǒng)排風(fēng)量約773000 CMH。新風(fēng)系統(tǒng)通道附屬不織布手工過濾網(wǎng)及庫板隔斷氣棚于新風(fēng)系統(tǒng)制冷機(jī)組進(jìn)口前，增加關(guān)鍵過濾網(wǎng)使用壽命。

在化工品庫、汽體間設(shè)定單獨(dú)的空調(diào)機(jī)組,新風(fēng)系統(tǒng)經(jīng)加工處理后送進(jìn)棚里，隨后根據(jù)通風(fēng)系統(tǒng)全部排至棚外，氣體不循環(huán)系統(tǒng)應(yīng)用。

加工工藝通風(fēng)系統(tǒng)：在加工工藝生產(chǎn)過程中會造成含堿、堿、有機(jī)溶液、高熔點(diǎn)有機(jī)化學(xué)、有危害等有機(jī)廢氣。為維護(hù)生產(chǎn)制造員工的身心健康，降低對環(huán)境及廠棚周邊環(huán)境危害，各自制定了相對的部分通風(fēng)系統(tǒng)、全棚排風(fēng)系統(tǒng)及有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)軟件。為清除加工工藝生產(chǎn)制造棚工藝技術(shù)等散發(fā)出的發(fā)熱量所制定的部分通風(fēng)系統(tǒng)、全棚排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)不需解決可立即排向空氣。為清除加工工藝生產(chǎn)制造棚工藝技術(shù)釋放的含堿、堿、有機(jī)溶液、高熔點(diǎn)有機(jī)化學(xué)、有危害等有機(jī)廢氣的部分通風(fēng)系統(tǒng)，排風(fēng)系統(tǒng)須先經(jīng)過有機(jī)廢氣凈化塔等有機(jī)廢氣處理設(shè)備解決，做到國家環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)后才可以排進(jìn)空氣。加工工藝通風(fēng)系統(tǒng)排煙風(fēng)機(jī)排風(fēng)量設(shè)置約 S T R 4 0 0 C M H × 1   1 臺；G E X - D18000CMH×1 1臺；EX-W & GEX-H 12300CMH×1臺，備用手機(jī)與 GEX-D同用；SEX 16 000CMH×1 1臺；ORG 4 000 CMH×1 1 臺，全部加工工藝排煙風(fēng)機(jī)均帶變頻調(diào)速器。

防、排風(fēng)系統(tǒng)：針對超過300 m2的地面上棚間、長短超過 40 m的疏散走道、長短超過20 m的內(nèi)過道設(shè)定消消火栓系統(tǒng)。以相對高度為50 cm的擋煙垂壁區(qū)劃防排煙系統(tǒng)分棚，較大防排煙系統(tǒng)分棚的總面積為500 m2。排煙風(fēng)機(jī)的風(fēng)速為 72 000 m3/h（60 000×1.2 倍）。密閉式棚間設(shè)定機(jī)械設(shè)備排風(fēng)系統(tǒng)時，與此同時安裝機(jī)械設(shè)備送風(fēng)系統(tǒng)軟件，補(bǔ)排風(fēng)量為排煙系統(tǒng)量的50%。消防救援窗以及前棚、消防電梯，前棚或共用前棚設(shè)定防排煙系統(tǒng)設(shè)備。

3 清潔級別規(guī)定

關(guān)鍵凈化處理棚 0.3 ìm、ISO 5.5，輔助棚域 0.3ìm、ISO 6. 5。其工藝流程環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)見表1 。

4 工程施工關(guān)鍵剖析

4.1 基本建設(shè)全過程務(wù)必遵循潔凈棚基本建設(shè)四項原則

（1）不帶到。

（2）不造成。

（3）不累積。

（4）迅速除去。

不帶到，便是不向潔凈棚領(lǐng)人一切塵土，務(wù)必保證下列標(biāo)準(zhǔn)：

（1）高效送風(fēng)口與構(gòu)造不造成塵土泄露。

（2）維持潔凈棚正壓力。

（3）工作人員經(jīng)換衣脫鞋、風(fēng)淋室后才可進(jìn)到潔凈棚。

（4）原材料與機(jī)器設(shè)備經(jīng)清理后才可進(jìn)到潔凈棚。不造成，便是沒有在潔凈棚造成一切塵土，務(wù)必保證下列標(biāo)準(zhǔn)：

（1）工作人員需穿潔凈服。

（2）不應(yīng)用非常容易造成塵土的原料與機(jī)器設(shè)備。

（3）不開展多余的挪動。

（4）不帶到無用具。不累積，便是沒有在潔凈棚累積一切塵土，必

須保證下列標(biāo)準(zhǔn)：

（1）不使機(jī)器設(shè)備角和四周清理艱難。

（2）潔凈棚盡可能不曝露風(fēng)道和管路。

（3）遵循規(guī)范化凈化處理工作中程序流程。

迅速除去，便是迅速除去潔凈棚內(nèi)塵土，必

須做好以下幾個方面：

（1）提升通氣率。

（2）在挨近造成塵土的地點(diǎn)設(shè)定氣水分離器。

（3）采用適合的氣流形式以防止灰塵粘在產(chǎn)品上。

4.2 根據(jù)以上標(biāo)準(zhǔn)，潔凈棚工程施工重點(diǎn)工作

搞好潔凈棚氣密性阻隔，將潔凈棚與外部徹底防護(hù)，保證外部污染物質(zhì)不可以進(jìn)到潔凈棚范疇，在宣布內(nèi)裝排架結(jié)構(gòu)沒完成前，先做臨時性防護(hù)設(shè)備。

創(chuàng)建三級清潔管控，保證工程施工各環(huán)節(jié)合乎相對應(yīng)凈化處理管控規(guī)范。

架空地板開孔率測算及填料、盲板遍布。為確保華夫板送風(fēng)勻稱，從送風(fēng)夾道向另一側(cè)盲板的遍布率下降以均衡氣流，避免 短路故障。

保證內(nèi)裝排架結(jié)構(gòu)的氣密性試驗(yàn)，潔凈棚外部墻面、現(xiàn)澆板務(wù)必維持嚴(yán)實(shí)，禁止外氣泄露進(jìn)到潔凈棚。保證送風(fēng)夾道的密閉式，包含干風(fēng)機(jī)盤管墻的密閉式及送風(fēng)夾道排架結(jié)構(gòu)的密封性，以確保干風(fēng)機(jī)盤管的橫斷面風(fēng)力、排風(fēng)量規(guī)定，與此同時避免 氣流短路故障，沒經(jīng)干風(fēng)機(jī)盤管直接進(jìn)入靜壓箱。

進(jìn)到二級清潔管控環(huán)節(jié)，盡早在潔凈棚內(nèi)創(chuàng)建正壓力，方式是運(yùn)用新風(fēng)機(jī)組為棚里給予新風(fēng)系統(tǒng)，創(chuàng)建正壓力，在新風(fēng)系統(tǒng)外界的新風(fēng)系統(tǒng)吸進(jìn)口增設(shè)無防布過慮新風(fēng)系統(tǒng)，以增加新風(fēng)系統(tǒng)內(nèi)初、中效過濾器的使用期限。

潔凈棚工程施工結(jié)束后，通過調(diào)節(jié)、檢驗(yàn)，潔凈棚各類信息均合乎設(shè)計方案指標(biāo)值。

5 

根據(jù)對本新項目工程施工實(shí)踐活動的匯總，認(rèn)證了新項目清潔管理方法關(guān)鍵的準(zhǔn)確性，潔凈棚工程施工管理，要嚴(yán)謹(jǐn)遵循潔凈棚基本建設(shè)四項原則，可保證潔凈棚建設(shè)工程的取得成功。