半導(dǎo)體廠凈化車間潔凈棚訂制規(guī)定(配高效過(guò)濾器、不銹鋼風(fēng)淋室)
半導(dǎo)體廠凈化車間特點(diǎn)決策其生產(chǎn)制造全過(guò)程一定有潔凈度規(guī)定,半導(dǎo)體廠潔凈棚訂制規(guī)定百級(jí)潔凈棚,百級(jí)潔凈棚是一種簡(jiǎn)單的凈化室,可迅速提升地區(qū)潔凈度的機(jī)器設(shè)備。以工業(yè)鋁型材(或不銹鋼板鋁方通、鐵鋁方通烤漆工藝)做為架構(gòu),選用密布離心風(fēng)機(jī)過(guò)濾網(wǎng)發(fā)電機(jī)組FFU排風(fēng),四周圍用抗靜電卷簾(或鋼化夾膠玻璃),內(nèi)部?jī)艋幚淼燃?jí)可達(dá)百級(jí),潔凈棚因?yàn)槠涑杀镜汀⑹r(shí)省力、靈便拼裝,普遍用以光學(xué)、電子器件流水線生產(chǎn)、試驗(yàn)室、拼裝地區(qū)等部分高潔凈度場(chǎng)所。
百級(jí)潔凈棚的潔凈度通常遭受氣流的危害,換句話說(shuō),即人、設(shè)備隔斷、建筑構(gòu)造等所造成的塵埃之挪動(dòng)、蔓延遭受氣流的操縱。恰好是由于那樣,因此百級(jí)潔凈棚的頂端務(wù)必密布高效過(guò)濾器排風(fēng)模塊,并且務(wù)必根據(jù)不銹鋼風(fēng)淋室出入。
百級(jí)潔凈棚運(yùn)用HEPA級(jí)高效過(guò)濾器過(guò)慮氣體,其塵埃的搜集率達(dá)99.97~99.99995%之多,因而通過(guò)此過(guò)濾裝置過(guò)慮的氣體可說(shuō)十分整潔。殊不知清潔房間內(nèi)除開(kāi)人之外,還有設(shè)備等之發(fā)塵源,這種產(chǎn)生的塵埃一旦蔓延,即沒(méi)法維持清潔室內(nèi)空間,因而務(wù)必運(yùn)用氣流將產(chǎn)生的塵??焖倥懦鰜?lái)戶外。
百級(jí)潔凈棚原理:
要使內(nèi)部?jī)艋幚淼燃?jí)做到百級(jí)(100級(jí))或以上就需要使屋內(nèi)的清潔氣流產(chǎn)生單邊豎直流。就是在潔凈棚內(nèi)的氣流在同一橫截面的隨意一點(diǎn)氣流的方位和速率保持一致,那樣就可以使清潔氣流象活塞桿一樣將房間內(nèi)的塵埃顆粒以最短的時(shí)間帶去。要完成豎直流就需要將高效過(guò)濾器鋪滿房頂,才可以完成單邊豎直流,做到潔凈度100級(jí)或以上的等級(jí)。
而針對(duì)百級(jí)到十萬(wàn)級(jí)的(1K-100K)潔凈棚:
其氣流機(jī)構(gòu)方位和Class1-100潔凈棚不一樣,內(nèi)部的氣流是以不勻稱的速率呈不平行面流動(dòng)性,伴隨流回和渦旋,它關(guān)鍵靠清潔的氣流持續(xù)稀釋液內(nèi)部氣體,將里面的危害慢慢排出來(lái),來(lái)完成清潔實(shí)際效果。要完成潔凈棚的級(jí)別不一樣,主要是借助單位時(shí)間內(nèi)所送排風(fēng)量的差異來(lái)完成的。
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